上海变频真空泵厂家现货

昊青气体装备的EVS油封螺杆式真空泵，采用低噪音的真空技术，其两个螺杆组件低速旋转，这样EVS便可以在低声级上运行。这种静音式运行，允许您将EVS安装在使用点的附近。同时，该机型性能可靠。可靠性是EVS真空系统的一个关键特征。所采用的技术没有接触，所以也无磨损。作为一项附加优点，油封技术带来强大的无故障运行。除了这项先进的技术之外，EVS还配备了可靠的特大号电机，和专业的油气分离系统。前列的凝聚过滤器减少了环境中的油雾量，从而减少额外的加油量，降低运行温度和发动机的功耗。EVS油封螺杆式真空泵拥有更好的效率，由于每千瓦输入均能有更好的性能输出，EVS在其工作压力范围上的表现超过所有其他的真空技术。并且能按照需求配置能力：模块化阀门直接安装到泵的进口上。同时还能即插即用型安装。结构上，它设计紧凑，节省空间。由于需要更少的维护，正常运行时间更长。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。上海变频真空泵厂家现货

在什么情况下使用涡轮分子真空泵呢？涡轮分子真空泵可达到10-12毫巴的压力水平。流量从50升到5000升/秒不等。它们的工作原理与压缩机相同。泵的各级叶片由高速旋转的电动机旋转，电动机从待排空的容积中排出空气。这种泵通常安装在磁性轴承上以支持高转速。它们需要一台真空极限为10-2mbar的主泵。涡轮分子真空泵的优点是不需要机油。这种泵特别适合超高真空的应用，如分析仪器或实验室分析。由于其复杂的技术，涡轮分子泵的购买成本很高，并且比传统的真空泵需要更多的维护。泵送速度也很大程度上取决于所泵送气体的类型。对于较轻的气体，速度会急剧下降。上海好的真空泵销售电话几种常见的真空泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。

真空泵分为气体输送泵和气体粘合或捕集泵。气体容积式真空泵可以没有限制地使用，而气体粘合真空泵具有有限的气体吸收能力，并且必须在一定的过程相关间隔进行再生。气体容积式泵，也被称为气体输送泵，被分类为往复容积式泵或动能真空泵。容积泵将密封区域的气体置换到大气或下游泵级中。动能泵通过机械驱动系统或通过在抽吸部分结束时冷凝的引导蒸汽流在抽吸方向对气体进行加速来置换气体。气体粘合真空泵通过吸气或在合适温度冷凝气体的方式将气体粘合到特别的活性衬底上。化学吸附是通过被称为吸气泵的泵类型在技术上进行的，该吸附泵通过蒸发和/或升华或溅射不断地产生纯净的吸气面。如果要结合的气体粒子在与吸气面进行相互作用之前在离子吸气泵中被电离了，则它们可通过溅射清洁吸气面的同时被溅射的材料掩盖。非蒸散型吸气剂(NEG)包括反应性高的合金，其主要由锆或钛组成，并且具有非常大的比表面积。气体可以通过微孔渗透到吸气材料的深层里，并在那里结合成稳定的化合物。

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。而作为真空供给装置的螺杆真空泵，在轻质板材部件的形成过程中起着重要的作用。

前面我们讲的都是粗真空。但对于制造极其微小的结构，则需要高真空，例如，利用高真空使金属沉积到硅晶片上。一方面，所用金属沸点相对较低。另一方面，即使是再小的夹杂物，甚至是空气气体分子，也会损害薄片层的导电性。离子注入也是如此，在此工艺中，离子在电场中加速运动，被引导到晶片上并置于晶格中。没有真空，EUV 光刻也就无从实现。作为相对较新的工艺，EUV 光刻使用波长非常短的极紫外光来显示晶片上特别小的结构。EUV 光传播几毫米后就会被空气完全吸收。只有在真空度非常高时，它才能畅通无阻地传播。此技术和类似方法是很多芯片技术发展的先决条件，例如，让我们的智能手机变得越来越薄，同时提供不断增强的性能，如果没有高真空度的辅助，都是不可能实现的。真空泵按其性能特点及用途分类可以分为低真空泵、中真空泵、高真空泵、超高真空泵。上海好的真空泵销售电话

真空泵若安装在易爆区域或特殊场合，应根据等级，采用防爆电动机或其他有效措施。上海变频真空泵厂家现货

螺杆真空泵降温主要是针对螺杆真空泵在使用过程中出现高温，若在短时间出现高温问题不大，但是长时间出现高温就必须得引起足够重视。长时间的高温状况对螺杆真空泵的各个部件都会产生损害，甚至严重时会造成电机的报废，下面我们来看一下具体做法：首先要做的是壳体的冷却，螺杆真空泵因为转子在工作过程中无润滑油参与，是无法通过润滑油带走工作时产生的热量。因为无内压缩过程，排气温度非常高，若冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气的效果。所以螺杆真空泵壳体采用双层管壁中空结构，称为冷却套，其里面内置冷却液，是螺杆真空泵的主要散热通道。水冷是常见的方法，冷却套中通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。同时可以在转子内部通水冷却，增加转子寿命，并达到很好的冷却效果。上海变频真空泵厂家现货

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